超高圧電子顕微鏡室では、１オングストロームの分解能を維持し続けている超高圧電子顕微鏡と、元素分析・電子状態分析装置を備えた４００ｋＶ補助電子顕微鏡を両輪として、学内の約３０研究室の利用及び学外からの共同研究を受け入れ活動を行ってきた。超高圧電子顕微鏡を使った研究活動では、その超高分解能を利用した研究の他に、構造像に試料の投影ポテンシャルがそのまま反映するという特徴を生かした研究も進められている。軽元素の観察、ポテンシャルの差を利用した超高分解能元素マッピングなどの手法が開発されてきており、金属、セラミックス、半導体材料の研究に必要不可欠な装置となっている。補助電子顕微鏡では、粒界、界面の断面観察、分析等を軸に、特殊試料ホルダーを用いたその場観察実験も試みられている。特に原子レベルのその場観察実験により亀裂経路、組織の変形過程などを直視する研究が進展している。